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COMMON PROBLEM

常见问题
  • 1.分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?

    原因:附近有光照或其他热源

    解决方法:避免光照或热源

  • 2.分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么发黑?或者多长时间油才会变黑?

    原因:冷却不良,负载太大

    解决方法:检查冷却系统,检查真空系统

  • 3.分子泵轴承为什么会烧毁?

    原因:①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘

    解决方法:①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘

  • 4.分子泵在运转过程中,出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常,之后又下降至一定频率,再恢复到正常,反反复复,更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释?

    原因:负载太大,系统真空度不够

    解决方法:检查系统

  • 5.真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?

    原因:油池破裂或密封不良

    解决方法:检查油池

  • 6.有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?

    原因:防护网破裂,前级管道破裂

    解决方法:优化系统设计

  • 7.正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形

    原因:过热,负载大

    解决方法:检查冷却系,检查系统

  • 8.分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?

    原因:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。

    解决方法:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。

  • 9.胶圈口分子泵要用多少卡钳,使用才安全?
    不作特殊限定,至少3个,按照法兰大小可选3、6、12、24等。
  • 10.变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱?
    ①电压不稳②强干扰③高压打火④认为解密